电子学院微制造与集成工艺中心概况
工艺中心牌匾
薄膜沉积工艺区
光刻工艺区
薄膜刻蚀工艺区
公用设备
电子束曝光
原子层沉积
紫外曝光
反应离子刻蚀
组内设备
原位手套箱
自研8工位手套箱
- 范德华转移
- 薄膜热蒸镀
- 化学操作仓
- 高温探针台
器件加工
6吋高温探针台
原位热蒸镀
光电测试
化学手套箱
低温探针台（闭循环制冷）
多功能低温探针台
- 温区：10-350 K
- 5探针臂
- 1光纤臂
BN包覆的减薄MoS2
Nat. Commun. 13, 1844 (2022)
BN包覆的6层MoS2
ACS AMI 14, 18697 (2022)
低温强磁场平台（量子物性）
低温强磁场平台
- 1.6K, 12T
- 样品台40引脚
- 量子输运现象
石墨烯器件及其量子振荡
材料合成间（灵活定制样品）
单晶合成
- 三温区管式炉
- 化学气相沉积
- 化学气相输运
CVT管式炉生长
厘米级WSe2单晶